真空蒸发镀膜设备 (JB/T 6922-2004)

标准编号：JB/T 6922-2004

标准名称：真空蒸发镀膜设备

起草人

周毅、陈月增

起草单位

北京北仪创新真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所

适用范围

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标增、包装、运输、贮存等要求。 本标准适用于极限压力在5×10^(-4)pa～5×10^(-3)Pa范围的真空蒸发镀膜设备。