砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法 (GB/T 8758-1988)

发布日期:1988-02-25 | 实施日期:1989-02-01

标准编号:GB/T 8758-1988

标准名称:砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法

英文名称:Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference

起草人

起草单位

北京有色金属研究总院

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