真空离子镀膜设备 (JB/T 8946-2010)

标准编号：JB/T 8946-2010

标准名称：真空离子镀膜设备

起草人

陈大民、冯玉国 等

起草单位

大连远东真空技术有限公司、沈阳北宇真空设备厂等

适用范围

本标准规定了真空离子镀膜设备(以下简称设备)的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。 其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。