碳化硅单晶片直径测试方法 (GB/T 30866-2014)

标准编号：GB/T 30866-2014

标准名称：碳化硅单晶片直径测试方法

英文名称：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers

起草人

丁丽、周智慧、蔺娴、郝建民

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院

适用范围

本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 本标准适用于碳化硅单晶片直径的量。