集成电路用 ArF 干式光刻胶 (T/ICMTIA 5.1-2020)

发布日期：2020-12-31 | 实施日期：2021-03-01

标准编号：T/ICMTIA 5.1-2020

标准名称：集成电路用 ArF 干式光刻胶

英文名称：ArF Dry photo resist for Integrated circuits

起草人

许从应、毛智彪、马潇、顾大公、陈伟琴、李珊珊

起草单位

宁波南大光电材料有限公司

适用范围

本文件适用于集成电路用 ArF 干式光刻胶。

下载标准

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