标准编号：T/DLSHXH 002-2018
标准名称：电子工业用气体 一氧化氮
英文名称：Gas for electronic industry—Nitric oxide
起草人
施旖旎、焦中鹏、刘颖、韩冬梅、裴凯、张琳、计燕秋
起草单位
大连科利德光电子材料有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、大连石油和化工行业协会、和舰科技(苏州)有限公司、睿力集成电路有限公司、台湾积体电路制造股份有限公司
适用范围
本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于电子工业用气体一氧化氮。